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안녕하세요

넥센서 정진수 입니다.

EFEM  관련하여 문의 사항이 있어 문의 드립니다.

저희는 Wafer를 검사하는 장비를 제작을 하려 합니다.

300mm Wafer 공급을 위한 EFEM을 찾고 있습니다.

현재 저희 검사하는 곳의 시간은 약 15초 정도 예상하고 있습니다. (이송 및 검사시간)

장비의 스펙의 경우 약 WPH 150장 정도 예상을 하고 있습니다.

이러한 사양의 스펙을 만족하는 이동 속도를 가지는 EFEM이 있는지 여부 검토 부탁 드립니다.

연락처 : 넥센서
            정진수  010-5423-6427

1. 300mm Wafer 사용
2. Warp +,- 3mm 대응필요( 사용 스펙 제시)
3. Warp 500um이하일 경우 WPH : 150 (Warp이 있는 경우 별도 제시 필요)
4. OCR  옵션
5. Aligner 필요

대략적인 사양의 경우 위와 같습니다

대략적인 컨셉도면으로 송부해 드립니다. 검토 부탁 드립니다.

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