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안녕하세요

넥센서 정진수 입니다.

저희 제작 장비에 사용할 EFEM을 제작하려 합니다.

EFEM에 사용할 장비에 댈한 대략적인 내용을 작성하여 보내 드립니다

1. Wafer Size : 300mm
2. Wafer Warp : +,- 3mm
3. Pre-aliner
4. OCR
5. Wafer Contact 부분 이오나이저 추가 장착.
6. WPH 140 (Wafer Warp 500um이하일 때) Warp이 있을경우 시간 조절 가능
7. 장비 모듈 사이즈 컨셉도면 참고
8. 납기일정 : 일정확인 필요 (Target 납기 6월)

대략적인 내용은 위 내용과 같습니다

이 부분 확인 부탁 드립니다

정 진 수 드림.